Manual Programmable Coater

Manual Programmable Coater

產品簡介

商品編號：如圖

設備概要：

適用尺寸：2”~ 12”Wafer基材。

外觀材質：PP 板組合焊接而成，耐酸鹼侵蝕。
操作盆罩：SUS製，圓盆型設計。
盆罩掀蓋：分離式透明 PVC 上蓋。
吸盤規格：一組鋁製吸盤精密研模陽極保護。
操作方式：手動直接輸入。
入料方式：手動給料。
液體種類：光阻劑、溶劑。
馬達：AC Servo Motor(轉速:10~6000 RPM)。
含真空幫浦 (附 PP 防塵外罩)。
真空滲液保護：有，間接式防護設計。
真空簡檢知：有(可數位設計真空值 kpa 下限保護)。
保護裝置：有。
保護制御：有一本裝置的全部狀態，異常檢出。

控制系統：-軟體：PLC。
真空表頭：可顯示設定值與實際值。
使用操作介面：彩色觸控面板。
配方模組：100組配方設定。
段方步序：每一配方模組均設30段步序。
操控方式：中文彩色觸控人機介面系統操作介面，並有主軸轉速曲線圖。
電源：單相220V，10A。
附操作手冊一份

1.光阻自動供料系統
2.自動供料擺臂
3.熱板(HOT PLATE)
4.洗邊裝置(EBR)
5.背洗裝置(BSR)
6.廢液回收桶裝置

基本規格

外觀材質：PP 板組合焊接而成，耐酸鹼侵蝕。
操作盆罩：SUS製，圓盆型設計。
盆罩掀蓋：分離式透明 PVC 上蓋。
吸盤規格：一組鋁製吸盤精密研模陽極保護。
操作方式：手動直接輸入。
入料方式：手動給料。
液體種類：光阻劑、溶劑。
馬達：AC Servo Motor(轉速:10~6000 RPM)。
含真空幫浦 (附 PP 防塵外罩)。
真空滲液保護：有，間接式防護設計。
真空簡檢知：有(可數位設計真空值 kpa 下限保護)。
保護裝置：有。
保護制御：有一本裝置的全部狀態，異常檢出。

電控系統

控制系統：-軟體：PLC。
真空表頭：可顯示設定值與實際值。
使用操作介面：彩色觸控面板。
配方模組：100組配方設定。
段方步序：每一配方模組均設30段步序。
操控方式：中文彩色觸控人機介面系統操作介面，並有主軸轉速曲線圖。
電源：單相220V，10A。
附操作手冊一份

選配功能

1.光阻自動供料系統
2.自動供料擺臂
3.熱板(HOT PLATE)
4.洗邊裝置(EBR)
5.背洗裝置(BSR)
6.廢液回收桶裝置