科毅科技股份有限公司
Manual Mask Aligner

6吋垂直式曝光機
雙面對準單面曝光機
雙面曝光機
簡易型曝光機
水平式曝光機
旋轉式曝光機
快速曝光機
小型步進曝光機
大尺寸曝光機
12吋垂直式曝光機

Manual Mask Aligner

商品編號 : AGVertical

機型特色：

  • 專利平整校正機構
  • 高精度
  • 人性化操作介面
  • 適合生產單位使用

  • Exposure light source：350W、500W、1KW、2KW
  • Substrats Size：2"~12" ,up to 24"
  • Uniformity：Manual >±3% and < ±5%
  • Alignment Accuracy：±1um、≦5um
  • Throughput：Manual ≧65wph

應用範圍：

  • 半導體(Semiconductor)、微機電(MEMS)
  • 被動元件(Passive Component)、觸控面板(Touch Panel)
  • 顯示器(Display Panel)、發光二極體(LED)

可選配雙面對準製程

  • Back Side IR (紅外線對準)
  • Back Side Visible (背面CCD/顯微鏡對準)

基本規格

  • Exposure light source：350W、500W、1KW、2KW
  • Substrats Size：2"~12" ,up to 24"
  • Uniformity：Manual >±3% and < ±5%
  • Alignment Accuracy：±1um、≦5um
  • Throughput：Manual ≧65wph

應用領域

應用範圍：

  • 半導體(Semiconductor)、微機電(MEMS)
  • 被動元件(Passive Component)、觸控面板(Touch Panel)
  • 顯示器(Display Panel)、發光二極體(LED)

選配功能

可選配雙面對準製程

  • Back Side IR (紅外線對準)
  • Back Side Visible (背面CCD/顯微鏡對準)