紫外线臭氧清洗机

紫外线臭氧清洗机

特征:

  • UV Light Clean:晶圆表面清洁
  • 紫外线光照调节剂:对于一些材料可以增加颜色饱和度
  • 分解碳氢化合物
  • 杀死毒菌
  • 去除油腻的一部分
  • 照射波长:UV-C(185nm&245nm)
  • 有效曝光范围:100mm〜2400mm