落地型薄膜控制旋转涂布机

商品编号：AGS3012A

涂布范围：2”~ 12”L 1000mm x D 800mm x H 1800mm

设备概要：

适用尺寸：2”~ 12”Wafer基材。

基本规格：

• 外观材质：PP 板组合焊接而成，可以耐酸碱侵蚀。
• 操作盆罩：SUS制，圆盆型设计。
• 盆罩掀盖：分离式透明 PVC 上盖。
• 吸盘规格：一组铝制吸盘精密研模阳极保护。
• 操作方式：手动直接输入。
• 入料方式：手动给料。
• 液体种类：光阻剂，溶剂。
• 马达：AC Servo Motor(转速：10~6000 RPM)。
• 含真空帮浦 (附 PP 防尘外罩)。
• 真空渗液保护：有，间接式防护设计。
• 真空简检知：有(可数位设计真空值 kpa 下限保护)。
• 保护装置：有。
• 保护制御：有一本装置的全部状态，异常检出。
• 电控系统：-软体:PLC。
• 使用操作介面：中文彩色触控面板。
• 配方模组：30组配方设定。
• 段数设定：每一配方模组均设30段段数。