蚀刻机
光阻涂布
曝光(光刻)
无光罩雷射直写曝光机
光罩
显影
蚀刻机
清洗
真空干燥机 (VCD)
Nikon Stepper 步进曝光机
Ultratech stepper 步进曝光机
仪器及实验耗材
校正量测-移机服务
中古设备
紫外线固化机
黄光无尘室租用
蚀刻是将材料使用化学反应或物理作用后移除的技术,指通过曝光制版、显影后,将欲蚀刻部分的保护膜去除,使之于蚀刻时接触化学溶液以形成凹凸或镂空成型的效果。在半导体制程中,蚀刻机是不可或缺的设备之一,亦广泛应用于航空、机械、化学工业中电子薄片零件精密蚀刻产品的加工。
科毅科技为追求本公司蚀刻机之优良品质,不断研发创新微影制程等技术,设立class 1000 等级无尘室,使我们所生产之设备经过更严格的测试,以提供国内外厂商更精密优良的蚀刻机,以期提供客户高效率、高产能、高良率的蚀刻机设备。