真空干燥机(VCD)

基本规格 :
1. 腔体及机架：
A. Chamber and Frame:
腔体尺寸：约300mm(D) x300mm(W) x 250mm(H) (以实际设计为主)
Chamber material：铝 A6061

2. 抽气系统：
A. Pump：
a)干式真空帮浦（Dry Pump）=>For Chamber

model：Edwards iXL120
最高排气速度：65 cfm
B. Valve and Piping：(气动阀件)
Rough Valve：NW 50 Angle Valve × 1
For vent：Ø 1/4” Gas valve × 1 (CDA vent)
For gas ：Ø 1/4” Gas valve × 1
手动阀 (供断电泄气用)：Ø 1/4” valve × 1 

3. 量测：
真空量测： Convectron gauge, measuring range: 760 Torr ~ 10-3 Torr
ATM Sensor × 1pc

4. 基板乘载机构：
size：可置入200mm × 2000mm 玻璃， single piece
制程压力：可稳定于1pa ,采用手动阀微调。

5. 控制系统：
制程可使用全电脑控制，自行设定制程参数 控制系统：
*PLC（三菱）控制系统 + PC control ＋ 15”Touch Monitor
自动抽气、自动泄气程式设定
电脑即时设定真空度及气体流量设定,即时显示并记录真空度及气体流量设定
电脑即时显示并记录真空度及气体流量设定之曲线图，并可设定曲线之取样频率及范围
可由电脑列印真空度及气体流量设定之曲线图及Data并可输出为电脑档案
可查询整年度之历史资料,显示并记录机台所有异常资料(包括异常内容及异常时间)
可由电脑设定使用者许可权管理(包含：TE、EE、PE、ME)
可由电脑自动执行腔体漏率测试，即时显示并记录测试结果
所有参数设定可自行设定误差值误差时间并提供警报
提供弹性化制程气体及管路设定控制介面，配合许可权管理可自由增加或减少制程气体