光阻涂布
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在黄光制程中，光阻涂布机可说是第一站，因此涂布机的稳定及均匀性可说是决定制程良莠的首站关卡。本公司所提供的涂布采用高性能的伺服及DC马达，可达到精准及可靠的控制。
本公司之各类涂布机适合不同需求之黄光制程包含：触控可程式光阻涂布机(桌上型)、两段式旋转涂布机(桌上型)、小型两段式旋转涂布机(桌上型)、桌上型伺服涂布机等专业涂布机，详细规格请点选下列连结。
